昭和电工建设的上海新工厂扩产一氧化二氮和八氟环丁烷

昭和电工上海新厂,增产电子级气体一氧化二氮,八氟环丁烷

昭和电工公司在上海的生产基地- 上海昭和电子化学材料有限公司的旁边取得第二工厂建设用地,建设高纯一氧化二氮和八氟环丁烷的生产设施和危险品仓库,2021 年下半年投产。一氧化二氮(氧化亚氮)的年生产能力1000吨t,八氟环丁烷年生产能力600 吨。

高纯一氧化二氮主要是半导体及显示屏制造时的氧化膜的氧来源的特种气体,高纯八氟环丁烷主要是这种氧化膜的微细加工( 蚀刻) 时的特种气体。由于5G 等信息通信领域的发展,以及政府的产业政策,中国的半导体及显示屏市场( 有机EL 电视机等) 将会扩大。目前昭和电工在川崎事业所和韩国基地生产高纯一氧化二氮,并在川崎事业所和上海基地生产高纯八氟环丁烷。

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