氪气（Kr）、氙气(Xe)、氖气(Ne)
这三种稀有气体在空气中的含量微少, 三种气体总共不到大气中的0.002%。其中氪、氙含量最少, 氪在空气中含量仅占1.14 ×10–6 , 氙在空气中含量仅占0.09 ×10–6 , 而氖在空气中含量也仅占18.18 ×10-6 。
这三种稀有气体在照明、激光器、电子行业、中空玻璃、平板显示器、医疗麻醉、空间离子推进发动机等领域具有广泛应用。
稀有气体在激光上的应用
稀有气体可分别应用于ArF、KrF光刻机中准分子激光光源的生产和半导体刻蚀中，主要用于8英寸晶圆250-130nm成熟制程。其中，氖气是光刻机中产生“光源”的一种重要原材料，而光刻机对于光源的波长要求非常高。作为缓冲气体，氖气普遍存在于各种激光气体中，用于提供高效的能量。有了优质的光源之后，光刻机才能进一步制造芯片，更好地推动半导体行业的发展。
截至2022年年底，我国主要稀有气体生产企业的总产能，氙气为8691立方米/年，氪气为8.3万立方米/年，氖气为51.6万立方米/年，氦气为350.5万立方米/年。
氖气的国家标准（2014版）
