氯化氢

每瓶装25公斤-27公斤，工业纯度的用于精细化工和制药。高纯氯化氢气体是电子工业中用量较大的一化学气体，其中纯度为99.999%的电子级氯化氢主要用于半导体器件生产中单晶硅片的气相抛光、外延基座腐蚀及硬质合金制造，也可用于金属冶炼，光导通讯和科学研究领域。随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的发展，对广泛用于单晶硅气相抛光和外延基座腐蚀的电子级氯化氢也有了更新的要求。除了应具有99．999%以上的纯度，还要求碳氧化合物和金属离子等有机杂质的含量越低越好。