特种气体一般指制造工艺要求高，并在特定领域应用、有特殊技术需求的高纯度气体、超高纯气体、或高纯气配制并精确混合的多组分气体，它们有的是易燃、易爆、具有腐蚀性。特种气是很重要的基本化学材料，用于半导体集成电路、发光二极管、光纤光缆、航天航空、激光、精细医药等新兴领域。
电子特气的概念
电子特种气体是“特种气体”的最大分支，价值也最高。它是用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特殊气体（相对于普通低等级的工业大用量气体比如氧气、氮气而言）。晶圆生产流程包括清洗、沉积/CVD、光刻、刻蚀、离子注入、成膜等工艺，从单个芯片生成到最后器件的封装，每一个环节都有电子气体参与。它是晶圆制造中仅次于硅片的第二大材料。该范围特气主要品种可达百种，应用于芯片生产的各个流程中，例如芯片制造需要使用很多种气体，包括硅烷等硅族气体、PH3等掺杂气体、CF4 等蚀刻气体、WF6 等金属气相沉积气体及其他反应气体和清洗气体等。
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危化品中气体的分类和UN编号
