三氯化硼有化学级和高纯电子级的区分，以下是高纯电子级三氯化硼标准
国标：电子级三氯化硼气体GB/T17874-2010
China Standard of Electronic Grade Boron Trichloride
| 项目 items | 指标 indices |
| 三氯化硼（BCL3）（体积分数）/10-2 ≥ | 99.9995 |
| 氧+氩含量（O2+Ar）（体积分数）/10-6 < | 1 |
| 氮含量(N2）（体积分数）/10-6 < | 4 |
| 一氧化碳(CO)（体积分数）/10-6 < | 0.5 |
| 二氧化碳(CO2)（体积分数）/10-6 < | 0.2 |
| 甲烷(CH4)（体积分数）/10-6 < | 0.5 |
| 总杂质(total impurity)（体积分数）/10-6 < | 5 |
| 金属离子 (metallic ions) | 供需双方商定 |
| 颗粒 (particles) | 供需双方商定 |