全氟丙烷(八氟丙烷)

八氟丙烷CF,又称全氟丙烷、R218、PFC218,相对分子质量188.0,熔点-183℃,沸点-36.7℃,是一种稳定性好的全氟化合物,标准状态下为无色气体,在水和有机物中溶解度都很小。

八氟丙烷作为一种电子材料,主要用作半导体器件制作过程中的等离子刻蚀气和清洗气。随着电子工业的迅速发展,高纯八氟丙烷的需求量日益增加,并且由于对刻蚀精度的要求越来越精细,相应地对其纯度要求也越来越高,高纯八氟丙烷电子气的纯度应该不低于99.999%。

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