the useage of silane

硅烷（SiH₄）

硅烷作为一种提供硅组分的气体源， 可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅及多种金属硅化物，是许多其他硅源无法取代的重要特种气体。

硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳能电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层等领域， 近年，硅烷类的高科技应用还在不断涌现，包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等。